半導體Chiller支持工藝過(guò)程制程發(fā)展

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日常維護是確保系統穩定運行的基礎。需要每日檢查各分區溫度設定值與實(shí)際值的偏差，記錄系統運行參數。關(guān)注壓縮機、水泵等關(guān)鍵設備的運行狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現異常運行聲音或振動(dòng)。

月度、季度維護應檢查水處理系統，包括水質(zhì)檢測、過(guò)濾器清洗、電氣系統絕緣測試、傳感器校準、管路密封性檢查等。檢查各分區調節閥的動(dòng)作情況，確保響應靈敏度和控制精度。清理冷凝器翅片，檢查冷媒壓力，確保換熱效率。

三、常見(jiàn)故障排查方法

溫度控制偏差是常見(jiàn)的故障現象。首先檢查溫度傳感器的校準情況，然后排查調節閥的動(dòng)作是否正常。如果單個(gè)分區出現偏差，檢查該分區的傳感器和調節閥；如果多個(gè)分區同時(shí)出現偏差，則需要檢查主機的運行狀態(tài)。

系統壓力異常是另一個(gè)常見(jiàn)故障。高壓警告通常由冷凝器散熱不佳引起，需要檢查冷凝器風(fēng)扇和翅片清潔度。低壓警告則可能是冷媒泄漏或蒸發(fā)器堵塞所致，需要進(jìn)行檢查。

壓縮機故障往往表現為異常運行聲音或無(wú)法啟動(dòng)。首先檢查電源和啟動(dòng)器，然后檢測壓縮機繞組絕緣和運行電流。如果壓縮機頻繁啟停，可能是系統負荷不平衡或冷媒量不當所致。

存儲單元分區溫控Chiller系統的維護和故障排查需要知識和技能。通過(guò)建立完善的維護體系，采用科學(xué)的排查方法，可以提高系統的可靠和穩定。