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        光刻機溫度控制裝置該如何選型

        簡(jiǎn)要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機溫度控制裝置該如何選型

        • 產(chǎn)品型號:AES-4535
        • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
        • 更新時(shí)間:2025-01-13
        • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2769
        詳情介紹
        品牌LNEYA/無(wú)錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
        價(jià)格區間5萬(wàn)-10萬(wàn)產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
        儀器種類(lèi)一體式應用領(lǐng)域化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車(chē)及零部件

        <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

         型號AES-4535
         AES-4535W
        AES-6035
         AES-6035W
        AES-8035
         AES-8035W
        AES-A1035WAES-A1235W
        溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
        制冷量-45℃2.5kW    
        -60℃ 2kW   
        -80℃  1.5kW  
        -100℃   1.2kW 
        -120℃    1.2kW
        溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
        溫度轉換時(shí)間-25℃ to 150℃ 約10S
        150℃to  -25℃
        約20s
        -45℃ to 150℃ 約10S
        150℃to  -45℃
        約20s
        -55℃ to 150℃ 約10S
        150℃to  -55℃
        約15s
        -70℃ to 150℃ 約10S
        150℃to  -70℃
        約20s
        -80℃ to 150℃ 約11S
        150℃to  -80℃
        約20s
        空氣要求空氣濾清器<5um
        空氣含油量:<0.1ppm
        空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
        空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
        系統壓力顯示制冷系統壓力采用指針式壓力表實(shí)現(高壓、低壓)
        循環(huán)系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
        控制器西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法
        溫度控制控制出風(fēng)口溫度
        可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
        通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
        設備內部溫度反饋設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
        溫度反饋T型溫度傳感器
        壓縮機法國泰康/艾默生
        蒸發(fā)器套管式換熱器
        加熱器法蘭式桶狀加熱器
        制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
        操作面板無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線(xiàn)顯示EXCEL 數據導出
        安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過(guò)載保護;高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
        制冷劑冠亞混合制冷劑
        外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
        外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
        外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
        風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機
        水冷型 W帶W型號為水冷型
        水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
        冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
        G3/8
        1.2m³/h
        G3/4
        1.6m³/h
        G1
        2.6m³/h
        G1
        3m³/h
        G1
        電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
        電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
        外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標準顏色7035)
        溫度擴展高溫到 +300℃

         

         

        <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

        <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類(lèi)型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

        光刻機溫度控制裝置該如何選型

        光刻機溫度控制裝置該如何選型

          如何選擇合適的工業(yè)冷水機組,在機組的設計上又應該注意哪些方面呢?

          1. 使用光刻機溫度控制裝置還是水冷式冷水機

          工業(yè)冷水機組的冷凝方式分為風(fēng)冷式和水冷式,對應的設備也常被稱(chēng)為光刻機溫度控制裝置組和水冷式工業(yè)冷水機組,光刻機溫度控制裝置組的選型先要考慮是否適合采用風(fēng)冷的冷凝方式

          2. 確定制冷量需求

          需要計算待控溫設備實(shí)際應用所需要的制冷量是多少,通??梢愿鶕蛻?hù)所提供的制冷量或壓縮機功率要求來(lái)直接確定,也可以根據實(shí)際工藝情況和經(jīng)驗來(lái)進(jìn)行估算,需要注意的是通常所說(shuō)光刻機溫度控制裝置組的制冷量指的是額定制冷量,還需要結合實(shí)際環(huán)境溫度等因素來(lái)計算。

          3. 蒸發(fā)器的選擇

          蒸發(fā)器類(lèi)型:盤(pán)管式蒸發(fā)器 / 殼管式蒸發(fā)器 / 板式換熱器

          蒸發(fā)器材質(zhì): 被冷卻液體(載冷劑)是否有耐酸耐堿等防腐要求,需要采用不銹鋼、鈦管等特殊材料

          4. 循環(huán)水泵的選擇

          應結合應用設備的管道、安裝距離、控溫精度等因素來(lái)確定光刻機溫度控制裝置組中冷凍水循環(huán)泵的流量及揚程。

          光刻機溫度控制裝置的選型還有其他許多需要注意的方面,如供電電壓、冷媒是否有要求等等,在此不再一一贅述。

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